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PRODUCTS CENTER普泰克 光學(xué)鏡組溫控chiller,依托其在精密熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累,致力于為泛半導(dǎo)體及精密光學(xué)產(chǎn)業(yè)鏈提供高穩(wěn)定、低振動(dòng)、高精度的溫度控制解決方案。
普泰克 Photo/Track Chiller,是一款專為半導(dǎo)體光刻前道涂膠顯影(Track)工藝量身定制的核心溫控裝備。
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