普泰克制冷設(shè)備
專注于半導(dǎo)體行業(yè)溫控
服務(wù)熱線：15214387784
專注于半導(dǎo)體行業(yè)溫控
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普泰克 光刻機(jī)用超純水Chiller，依托成熟的熱力學(xué)循環(huán)與精密自動(dòng)化控制技術(shù)，專為半導(dǎo)體光刻工藝中水質(zhì)要求高的溫控場(chǎng)景設(shè)計(jì)。
普泰克 光刻工藝溫度控制chiller，依托成熟的熱力學(xué)循環(huán)與精密自動(dòng)化控制技術(shù)，旨在為半導(dǎo)體光刻工藝提供穩(wěn)定、潔凈、低振動(dòng)的恒溫環(huán)境。
普泰克 光學(xué)鏡組溫控chiller，依托其在精密熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累，致力于為泛半導(dǎo)體及精密光學(xué)產(chǎn)業(yè)鏈提供高穩(wěn)定、低振動(dòng)、高精度的溫度控制解決方案。
普泰克 半導(dǎo)體光學(xué)鏡組溫控，依托其在精密熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累，致力于為半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈提供高穩(wěn)定、高精度的溫度控制解決方案。
普泰克 涂布顯影設(shè)備變頻氟化液冷卻機(jī)，結(jié)合了變頻動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)技術(shù)與電子級(jí)氟化液介質(zhì)的獨(dú)特物理化學(xué)性質(zhì)，致力于為半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈提供高潔凈、高穩(wěn)定性的精密溫控解決方案。
普泰克 Photo/Track Chiller，是一款專為半導(dǎo)體光刻前道涂膠顯影（Track）工藝量身定制的核心溫控裝備。
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