普泰克制冷設備
專注于半導體行業(yè)溫控
服務熱線：15214387784
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普泰克 光刻機溫度控制系統(tǒng)，是一款專為半導體優(yōu)良光刻工藝量身定制的核心精密溫控裝備。在光刻制程中，光源、光學鏡頭、掩模臺及晶圓載臺等核心組件對溫度極其敏感，微小的熱變形或折射率變化均可能導致線寬偏差與套刻誤差。
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