產(chǎn)品分類
普泰克 C?F?/PFC溫室氣體回收解決方案,依托品牌在精密深冷技術(shù)與熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累,專為半導(dǎo)體先進(jìn)制程、面板制造及氟化工等產(chǎn)生高全球變暖潛能值(GWP)尾氣的場景量身打造。
普泰克 NH?廢氣低溫液化回收,依托其在精密深冷技術(shù)與熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累,專為化工合成、制藥、新能源材料、金屬加工及環(huán)保治理等產(chǎn)生氨氣尾氣的工業(yè)場景量身打造。
普泰克 SiH?尾氣深冷回收系統(tǒng)解決方案,依托其在精密深冷技術(shù)與熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累,專為光伏電池制造、半導(dǎo)體CVD(化學(xué)氣相沉積)及外延工藝等場景量身打造。
普泰克 WF?氣體回收冷凝裝置解決方案,依托其在精密深冷技術(shù)與熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累,專為半導(dǎo)體晶圓制造(如CVD薄膜沉積工藝)及微電子封裝等場景量身打造。
普泰克 氣體回收深冷機(jī)組,依托其在精密深冷技術(shù)與熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累,專為半導(dǎo)體、精細(xì)化工、新材料及生物醫(yī)藥等產(chǎn)生高價(jià)值工藝尾氣的工業(yè)場景量身打造。
普泰克 半導(dǎo)體特種氣體回收,依托其在精密深冷技術(shù)與熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累,專為半導(dǎo)體制造、微電子封裝及前沿材料研發(fā)等場景量身打造。
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