產(chǎn)品分類
普泰克 晶圓制造領(lǐng)域控溫Chiller,在晶圓制造的光刻、刻蝕、薄膜沉積(CVD/PVD)、CMP研磨及離子注入等核心制程中,溫度控制的精度與穩(wěn)定性直接影響晶圓表面的化學(xué)反應(yīng)速率、薄膜生長質(zhì)量與關(guān)鍵尺寸(CD)的控制精度。
普泰克 真空腔體冷板Chiller,在真空熱試驗(yàn)、半導(dǎo)體晶圓測試、航空航天部件可靠性評估及薄膜沉積等工藝中,真空環(huán)境由于缺少空氣對流傳熱機(jī)制,負(fù)載的熱量交換主要依賴熱傳導(dǎo)與熱輻射。為真空腔體內(nèi)的冷板提供穩(wěn)定且精準(zhǔn)的低溫或變溫環(huán)境,是保障測試數(shù)據(jù)有效性與工藝一致性的重要環(huán)節(jié)。
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