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普泰克制冷設(shè)備

專注于半導(dǎo)體行業(yè)溫控

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普泰克 晶圓沖洗DI水恒溫系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介:

普泰克 晶圓沖洗DI水恒溫系統(tǒng),是一款專為半導(dǎo)體濕法清洗工藝量身定制的專業(yè)級精密熱管理裝備。該系統(tǒng)聚焦于去離子水(DI Water)在晶圓沖洗環(huán)節(jié)中,對溫度穩(wěn)定性及水質(zhì)純凈度的嚴苛要求,致力于在連續(xù)或間歇的沖洗工序中提供穩(wěn)定、均勻的恒溫控制環(huán)境。

產(chǎn)品型號:

更新時間:2026-06-16

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

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普泰克 晶圓沖洗DI水恒溫系統(tǒng)產(chǎn)品介紹

一、 產(chǎn)品概述

普泰克晶圓沖洗DI水恒溫系統(tǒng),是一款專為半導(dǎo)體濕法清洗工藝量身定制的專業(yè)級精密熱管理裝備。該系統(tǒng)聚焦于去離子水(DI Water)在晶圓沖洗環(huán)節(jié)中,對溫度穩(wěn)定性及水質(zhì)純凈度的嚴苛要求,致力于在連續(xù)或間歇的沖洗工序中提供穩(wěn)定、均勻的恒溫控制環(huán)境。其設(shè)計充分考量了晶圓沖洗工藝中因流量變化、環(huán)境熱交換帶來的熱負荷波動,力求保障終端晶圓表面的潔凈度與理化性質(zhì)穩(wěn)定,是現(xiàn)代化半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備中的優(yōu)選配套裝備。

二、 核心結(jié)構(gòu)與工作原理

該設(shè)備采用高精密與高可靠性的系統(tǒng)化架構(gòu),主要涵蓋以下核心模塊:
  • 高效換熱與潔凈循環(huán)模塊:系統(tǒng)集成高性能磁耦合循環(huán)泵與精密換熱單元,通過優(yōu)化的流道設(shè)計,力求實現(xiàn)熱量在沖洗槽夾套、盤管或外置板式換熱器中的快速傳遞與均勻分布。針對DI水的特殊屬性,接觸物料部分可選用特種防腐及低析出材質(zhì),避免交叉污染與管路堵塞。

  • 高精度傳感與反饋模塊:系統(tǒng)在關(guān)鍵工藝節(jié)點集成高精度溫度傳感器陣列,實時采集沖洗槽內(nèi)多點及回流節(jié)點的溫度數(shù)據(jù)。結(jié)合優(yōu)良的PID智能算法與自整定功能,系統(tǒng)能夠根據(jù)流體的熱力學(xué)特性自動調(diào)節(jié)輸出,力求將整體溫度波動控制在極小的范圍內(nèi)。

  • 動態(tài)響應(yīng)與補償模塊:針對晶圓沖洗工藝在多工位交替運行、啟停泵及流量切換時帶來的復(fù)雜熱負荷波動,裝置具備快速的動態(tài)響應(yīng)能力。通過前饋與反饋相結(jié)合的復(fù)合控制策略,力求迅速抵消外部干擾與內(nèi)部熱效應(yīng)帶來的溫度偏差,維持工藝溫度的平穩(wěn)。

  • 全密閉設(shè)計與安全防護平臺:采用全密閉循環(huán)回路設(shè)計,膨脹罐溫度始終保持在較低溫度,力求避免高溫油霧揮發(fā)及低溫吸收空氣水分的問題。配備直觀的人機交互界面,內(nèi)置多重軟硬件安全機制(如超溫報警、泵故障保護等)。

三、 核心技術(shù)優(yōu)勢

  • 控溫精度與穩(wěn)定性:依托普泰克成熟的高精度溫控方案,系統(tǒng)力求實現(xiàn)±0.5℃甚至更高精度的溫度控制,有效減少因溫度波動導(dǎo)致的清洗效率變化或表面缺陷,提升晶圓加工的良率。

  • 優(yōu)異的均溫性與動態(tài)響應(yīng):優(yōu)化的流體動力學(xué)設(shè)計與快速響應(yīng)的控制算法相結(jié)合,力求消除大容量沖洗槽中的局部熱點或冷點,保障DI水在整個沖洗過程中的均勻性與批次重現(xiàn)性。

  • 潔凈與防污染設(shè)計:從材質(zhì)選型到密封結(jié)構(gòu)充分考慮了半導(dǎo)體級純水的高潔凈度要求,力求杜絕金屬離子析出與微粒污染,符合電子級化學(xué)品的生產(chǎn)規(guī)范。

  • 靈活的工藝適配能力:系統(tǒng)支持多種通訊協(xié)議與接口,易于與現(xiàn)有的DCS或PLC系統(tǒng)集成。同時,其寬廣的溫控范圍與靈活的參數(shù)設(shè)置,力求適應(yīng)不同種類晶圓沖洗工藝的多樣化需求。

四、 典型技術(shù)參數(shù)(參考)

  • 適用介質(zhì):半導(dǎo)體超純水(UPW)、去離子水(DI Water)、電子級清洗液等

  • 溫控范圍:-80℃至+300℃(依具體機型與配置而定)

  • 控溫精度:±0.5℃至±1℃(在特定工況下)

  • 循環(huán)流量:可調(diào),滿足不同管徑與流速的需求

  • 加熱/制冷功率:根據(jù)沖洗槽容積與工藝熱負荷定制

  • 材質(zhì)選擇:316L不銹鋼、PTFE、PFA等特種耐腐蝕材質(zhì)可選

  • 控制系統(tǒng):智能PID控制,支持數(shù)據(jù)記錄、曲線顯示及遠程通訊

  • 安全保護:超溫報警、過流保護、液位監(jiān)測、緊急切斷

五、 普泰克 晶圓沖洗DI水恒溫系統(tǒng)主要應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體晶圓制造:晶圓沖洗槽的恒溫管理、表面顆粒去除過程的溫度控制、蝕刻液的在線保溫。

  • 精密材料加工:光學(xué)鏡片研磨、藍寶石襯底加工過程中純水的溫度管理。

  • 研發(fā)與中試:新型清洗工藝開發(fā)、供給系統(tǒng)熱管理參數(shù)優(yōu)化、小批量試產(chǎn)及工藝放大驗證。

普泰克 晶圓沖洗DI水恒溫系統(tǒng)


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